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随着电子信息产品市场的快速发展,高性能芯片、新型显示等电子器件市场广阔。蒸发材料和溅射靶材等镀膜材料是电子器件制造的关键支撑,其中铝薄膜以其电阻率较低、易沉积、易刻蚀、工艺成熟等优点被广泛应用。早期超高纯铝及铝合金镀膜材料主要由国外企业控制市场,有研亿金打破镀膜材料依赖进口的状况,实现镀膜材料关键技术的开发及产业化的供应,不仅推动行业良性发展,同时增强国际市场竞争力。是传统有色金属工业转型升级、开发高附加值深加工产品的重要示范。中国有色金属工业协会、中国有色金属学会公布的2015 年度中国有色金属工业科学技术奖公示名单中 电子信息用超高纯铝及其合金镀膜材料的关键技术开发及产业化项目获中国有色金属工业科学技术一等奖,为促进我国实现超高纯铝及其合金镀膜材料国产化和本地化供应提供有力的技术支撑。

超高纯铝镀膜材料的研制包括超高纯铝及其合金蒸发材料和溅射靶材成套技术开发及应用。要求产品性能指标满足电子信息应用领域严格的镀膜要求,通过客户的应用认证实现批量生产,质量稳定、性能可靠并达到国际同类产品标准。从小尺寸的铝蒸发材料研发起步,到4~6”小尺寸半导体用溅射靶材、8~12”大尺寸半导体用溅射靶材,再到高代线大尺寸平板显示用溅射靶材的研制,历经10年时间,实现了超高纯铝镀膜材料全面技术突破,开发出超高纯新型铝合金制备技术5大关键技术,在产品性能达标的同时解决了大尺寸靶材工程化实施难题。通过项目的实施,已授权专利19(发明7),发表文章21篇,制定铝靶材和蒸发料相关国家/行业标准4项,获得北京市自主创新产品认定1项、北京市新技术新产品认定1项,北京市高新技术成果转化1项,中国半导体协会创新产品和技术奖1项。项目验收及专家评价阶段,国家863计划重点项目和北京市科委科技计划重大项目均通过考核指标,并给与了高度的评价,一致通过验收。科学技术成果评价该项目技术经济指标先进,经济、社会效益显著,项目总体达到国内领先、国际先进水平。

多年来,有研亿金新材料有限公司致力于超高纯镀膜材料的国产化和本地化供应,积极努力打造国产镀膜材料品牌,在我国电子信息制造产业的发展过程中贡献力量。